Pfeiffer普发多级罗茨泵(干式真空泵)为各种应用提供清洁和干燥的真空环境!提供适合清洁制程应用的ACP系列多级罗茨泵和AL,ACGG,ACPG干泵,适合普通制程应用的A3P系列和适合严苛制程应用的ADH,A4H,A4X系列.
一、适合清洁制程应用的干泵
气冷型多级罗茨泵ACP15,ACP28,ACP40很少需要保养,适用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程.
型号接口尺寸DN极限真空度mbar抽速最大漏率重量
有气镇阀无气镇阀m3/hmbarl/skg
ACP15SD
ACP15G.13.10-.10-
ACP28SD
ACP28G
ACP28CV
ACP28CP
ACP28SH.13.10-.10-
ACP40SD
ACP40G
ACP40CV
ACP40CP
ACP40SH.13.10-.10-
SD:标准版本,适用于要求清洁无尘且无腐蚀性气体的应用设.标准泵配有气镇阀,可以改善小分子气体的抽气能力并避免泵内部冷凝.三种气镇可选,满足不同应用
G:抗腐蚀版本,适用于微量腐蚀性气体,三个吹扫气体喷嘴可保护低压和高压轴承,并稀释一定量的腐蚀性气体.
CV:耐水汽版本,适用于抽气环境含有水汽的应用,纯水蒸汽容量扩展至1,g/h
SH:无氟版本
CP:气体回收版本,通入气体必须是清洁,无尘,无腐蚀性的气体
紧凑型多级罗茨泵AL,用于洁净制程的整体式干泵
型号进气口尺寸DN极限压力hPa抽速噪音比重量
m3/hdB(A)kg
AL.6X10-358
ALESX10-455
ALX10-358
L:标准版本ES:节能版本
适合工业用途的干泵,ACGG,ACPG,具有高抽速和低极限压力多级罗茨泵ACP泵可用于冷冻干燥应用
型号连接尺寸
DN吹扫流为50SL/mn
极限压强抽速噪音比重量
Mbarm3/hdBAkg
ACP50NA
ACPGE-2
ACGG6X10-
二、适合普通制程应用的A3P系列,适用于针对中型工艺的高能效先进技术
具有三款型号可选,由于产品极大地降低了运营成本,使其在市场中脱颖而出.与以往真空泵技术相比,最高节约能耗可达50%,在工艺适应性方面,该系列真空泵结合了最先进的技术.此外,由于产品的结构设计紧凑,使其与传统的真空泵相比,可节约高达50%的空间.
